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Studienmodell 15 - Mikro- und Nanoelektronik

Die Mikro- und Nanoelektronik ist eine der Schlüsseltechnologien für die moderne Kommunikationsgesellschaft. Dabei spielt die CMOS-Technik als die Standardtechnologie sowohl für die Herstellung höchstintegrierter Schaltkreise als auch für analoge Anwendungen mit geringer Verlustleistung für batteriebetriebene Systeme eine sehr wichtige Rolle. Aber auch die Kombination von CMOS mit bipolarer Technik oder mit SiGe Hetero-Bipolartransistoren erlangt eine immer größere Bedeutung. Eine Integration von heterogenen Technologien zur Realisierung extrem schneller, verlustarmer Baugruppen bzw. Chips wird durch den Einsatz modernster Verfahren der Nanostukturierung möglich. Damit sind dann integrierte Systeme mit nanoelektronischen Bauelementen vom Sensor, über die analoge und digitale Signalverarbeitung bis hin zum Aktuator realisierbar. Zum Verständnis weiterer Miniaturisierungsschritte bis hin zu Nanobauelementen und -schaltungen sind grundlegende Kenntnisse der zur Verfügung stehenden Technologien notwendig.

Im Rahmen der Lehrveranstaltungen des Instituts werden wesentliche Elemente zum Verständnis von integrierten Bauelementen, analogen und digitalen Grundschaltungen, dem Design von integrierten Analog- und Digitalschaltungen und "Mixed Signal" Bausteinen herausgearbeitet. Das Ziel unserer Ausbildung ist ein Ingenieur, der über wesentliche Kenntnisse der modernsten Technologien für den Einsatz von komplexen integrierten Systemen in verschiedenen Bereichen der Informationstechnik und damit über ein solides Wissen im Entwurf, der Simulation und im Testen von analogen und digitalen Schaltkreisen und integrierter Systemlösungen auf einem Chip verfügt. Für Absolventen unseres Studienmodells ergeben sich auf Grund der fundierten Kenntnisse von Analog-, Digital und Hochfrequenztechnik ausgezeichnete Berufschancen.

Schwerpunkte sind: 
  • Entwurf, Simulation und Test integrierter heterogener Schaltkreise und Systeme für extrem rauscharme und höchstfrequente Anwendungen,
  • Entwicklung von neuartigen Bauelementen für die Sensorik und Datenverarbeitung, die auf neuen Effekten der Nano- und Quantenelektronik beruhen,
  • Entwicklung der erforderlichen Prozesse und Verfahren, insbesondere der Elektronenstrahl-Lithografie zur Herstellung von nanoelektronischen Bauelementen,
  • Entwicklung und Optimierung von mikro- und nanoelektronischen Prozesstechnologien, insbesondere zur Erzeugung von Nanostrukturen,
  • Modellierung, Simulation und computergestützte Erfassung von Parametern elektronischer und mikrowellen-technischer Bauelemente mit HEMT-Transistoren im Bereich von DC bis zu 67 GHz,
  • Aufbau von Systemen zur Messdatenerfassung und Anlagensteuerung