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KIT
Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
Optimierung der oberen Elektrode in Tunnelkontakten basierend auf NbN/Al-AlN/NbN Trilayern
Optimierung der oberen Elektrode in Tunnelkontakten basierend auf NbN/Al-AlN/NbN Trilayern
Forschungsthema:
Dünnschichttechnologie
Datum:
ab sofort
Betreuer:
Dipl.-Ing. Michael Merker