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Optimierung der oberen Elektrode in Tunnelkontakten basierend auf NbN/Al-AlN/NbN Trilayern

Optimierung der oberen Elektrode in Tunnelkontakten basierend auf NbN/Al-AlN/NbN Trilayern
Forschungsthema:Dünnschichttechnologie
Datum:ab sofort
Betreuer:

Dipl.-Ing. Michael Merker