KIT - Karlsruher Institut für Technologie
Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
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Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)
AlN/NbN/AlN multi-layer for detector applications
Forschungsthema:
Dünnschichttechnologie
Datum:
ab sofort
Betreuer:
Dr. rer. nat. Konstantin Ilin
Dipl.-Ing. Michael Merker
Bearbeiter:
Markus Matura
