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Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)

Hertzstraße 16

Gebäude 06.41

D - 76187 Karlsruhe

Tel.:  +49 721 608-44961

Fax.: +49 721 75 79 25

E-Mail: info∂ims.kit.edu

Das Institut befindet sich in der Westhochschule

Forschungsschwerpunkte

Entwurf und Design integrierter Schaltungen

  • Entwicklung von "System-on-Chip"-Lösungen unter Einsatz konventioneller mikroelektronischer sowie neuartiger nanoelektronischer Bauelemente
  • Entwicklung integrierter Schaltungen für die hochempfindliche und extrem schnelle Messtechnik, mobile Kommunikation und den Automotiv-Bereich
  • Entwicklung von heterogenen integrierten Schaltungen unter Einsatz von halbleitenden, metallischen und oxidischen Funktionsschichten
  • Simulation von Hochfrequenzschaltkreisen
  • Simulation von Schaltkreisen mit extrem hoher Taktfrequenz
  • Einbettung von Nanostrukturen in konventionelle Schaltkreise

Technologie integrierter Schaltkreise

  • Entwicklung technologischer Verfahren zur Integration von heterogenen Funktionsschichten
  • Elektronenstrahl-Lithografie
  • Entwicklung nanoelektronischer Bauelemente
  • Nanostrukturen für Quantenelektronik
  • Magnetoelektronik für die digitale Speichertechnik und Sensorik
  • Hochintegrierte Supraleiterelektronik

Charakterisierung und Test

  • "System-on-Chip" Funktionstest
  • Test der Bauelemente- und Schaltkreisfunktionen
  • Netzwerkanalyse passiver und aktiver Bauelementestrukturen
  • Charakterisierung des dynamischen Schaltverhaltens
  • Charakterisierung der Funktion von halbleitenden, magnetischen und metallischen Bauelementen
  • Rauschuntersuchungen vom DC- bis in den Hochfrequenz-Bereich

Ausstattung

Simulation und CAD-Systeme

  • IC-Entwurfssystem: Cadence Design System, Mathlab/Simulink
  • Hardware-Beschreibungssprachen: VHDL
  • Analog- und Logik-Simulation: SPICE-G3, Cadence PSpice
  • Altera MAX + PLUS II / Quartus II Entwicklungssystem
  • Mikrowellen-Simulation: SONNET, Agilent ADS, CST Studio, HFSS, AWR Microwave Office

Technologie integrierter Schaltkreise

  • Reinräume mit optischer und Elektronenstrahl-Lithografie
  • Sputteranlagen
  • Bedampfungsanlagen
  • Anlagen zum plasma-chemischen Ätzen
  • Anlagen zum Ionenstrahlätzen
  • Vorrichtungen zum nass-chemischen Ätzen
  • Rasterelektronenmikroskop mit EDX-Zusatz zur Analyse integrierter Schaltungen
  • Analyse dünner Schichten mit Ellipsometer, AFM und Profilometer
  • Auflicht- und Polarisations-Mikroskope

Messtechnik

  • Messplätze zum Test und zur Charakterisierung von integrierten Schaltkreisen und Bauelementen im Frequenzbereich von DC bis 67 GHz
  • Signal- und TDR-Analyse bis 50 GHz
  • Netzwerk- und Spektrum-Analysator für Frequenzen bis 67 GHz
  • Rauschmessplatz für DC bis 20 GHz
  • Bauelementecharakterisierung im Temperaturbereich von 0.3 K bis 400 K
  • Elektromagnetische Abschirmkammer (f < 40 GHz)
  • Automatisierte Messplätze mit LabView
Forschungsprojekte am IMS