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Implementierung von Inline-Messungen mittels Reflektometrie in einem MEMS-Prozess zur Sicherstellung der Fertigungsstabilität

Implementierung von Inline-Messungen mittels Reflektometrie in einem MEMS-Prozess zur Sicherstellung der Fertigungsstabilität
Forschungsthema:MEMS-Technologie
Betreuer:

Dipl.-Ing. Michael Merker,
externe Arbeit bei Bosch
 

Bearbeiter:

Tobias Busch