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Optimierung von Ätzprozessen zur Mikro- und Nanostrukturierung

Optimierung von Ätzprozessen zur Mikro- und Nanostrukturierung
Forschungsthema:Quantenbauelemente
Typ:Studienarbeit
Betreuer:

Dipl.-Phys. Christoph Kaiser,

Dipl.-Ing. Max Meckbach

Bearbeiter:

Maher Rezem