Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme (IMS)

Praktikum Nanoelektronik

  • Typ: Praktikum
  • Lehrstuhl: IMS
  • Semester: Hauptdiplom (ETiT)/ Master
  • Ort:

    Geb. 06.41
    Raum 009 (EG)

  • Zeit:

    Blockpraktikum über 2 Wochen

     

  • Beginn: Das Praktikum findet immer in der vorlesungsfreien Zeit zwischen WS/SS oder SS/WS statt (nach Absprache mit den Teilnehmern)
  • Dozent:

    Ilin

  • SWS: 4
  • ECTS: 6
  • LVNr.: 2312669
  • Prüfung:

    Die Bewertung setzt sich aus der Durchführung des Praktikums und dem Abschlussvortrag zusammen.

  • Hinweis:

    Präsenz

Zulassungsvoraussetzung:
Für die Belegung des Praktikum "Nanoelektronik" müssen die Studenten bereits die Vorlesung "Thin films: technology, physics and applications" gehört haben!

Das Praktikum wird als Blockpraktikum abgehalten.
Dauer: 2 Wochen.
Die Anzahl der Teilnehmer ist begrenzt.

Anmeldung / Vorbesprechung

Die Anmeldung erfolgt online über die ILIAS-Plattform.

Der Termin der Vorbesprechung wird den Teilnehmern gegen Ende des Semesters per Email mitgeteilt.

Ziel:           

Das in den Vorlesungen und Übungen erarbeitete Grundlagenwissen über Dünnschicht-Technologie/Physik soll praktisch angewendet werden. Dabei erlernen die Studierenden die grundlegenden Verfahren und Prozesse zur Herstellung von integrierten Schaltkreisen, die auch in der Industrie eingesetzt werden.

Die Studierenden arbeiten nach einer Einführung an eigenständigen Aufgaben im Reinraum und Technologielabor des Instituts.

Inhalt:        

 

 

·         Herstellung von dünnen Schichten,

·         Lithografieverfahren, Verfahren der Strukturierung

·         Umfassende Charakterisierung der hergestellten Bauelemente

·         Eigenständige Analysen, Messungen und Auswertungen

·         Zusammenfassung der erarbeiteten Ergebnisse in einem kurzen Vortrag