Achtung: Zulassungsvoraussetzung! Für die Belegung des Praktikum "Nanoelektronik" müssen die Studenten bereits die Vorlesung "VLSI-Technologie" gehört haben! Kurzbeschreibung: Ziel: Das in den Vorlesungen und Übungen erarbeitete Grundlagenwissen über Mikro- und Nanotechnologie soll praktisch angewendet werden. Dabei erlernen die Studierenden die grundlegenden Verfahren und Prozesse zur Herstellung von integrierten Schaltkreisen, die auch in der Industrie eingesetzt werden. Die Studierenden arbeiten nach einer Einführung an eigenständigen Aufgaben im Reinraum und Technologielabor des Instituts. Inhalt: · Herstellung von dünnen Schichten, · Lithografieverfahren, Verfahren der Strukturierung · Umfassende Charakterisierung der hergestellten Bauelemente · Eigenständige Analysen, Messungen und Auswertungen · Zusammenfassung der erarbeiteten Ergebnisse in einem kurzen Vortrag Prüfung: Die Bewertung setzt sich aus der Durchführung des Praktikums und dem Abschlussvortrag zusammen.

Homepage
https://www.ims.uni-karlsruhe.de/656.php

Referent/in
Prof. Dr. rer. nat. M. Siegel, Dr. rer. nat. K. Ilin, Dipl.-Phys. C. Kaiser

Veranstalter
Christoph Kaiser
Institut für Mikro- und Nanoelektronische Systeme
Universität Karlsruhe
Hertzstr. 16
76187 Karlsruhe
Tel: 0721 608-4995
E-Mail: c kaiser ∂does-not-exist.ims uni-karlsruhe de
https://www.ims.uni-karlsruhe.de

Teilnehmerzahl
10