Implementierung von Inline-Messungen mittels Reflektometrie in einem MEMS-Prozess zur Sicherstellung der Fertigungsstabilität
- Forschungsthema:MEMS-Technologie
- Betreuer:
Dipl.-Ing. Michael Merker,
externe Arbeit bei Bosch
- Bearbeiter:
Tobias Busch
Dipl.-Ing. Michael Merker,
externe Arbeit bei Bosch
Tobias Busch